자기 부상 터보 펌프

최대 펌핑 속도를 위한 유지 관리가 필요 없는 고성능 펌프

컴팩트한 디자인, 낮은 에너지 소비 및 높은 펌핑 속도 - 파이퍼 베큠의 자기 베어링 터보 펌프를 사용하면 최대 성능을 발휘할 수 있는 고품질의 문제 없는 제품을 기대할 수 있습니다.

펌프 라인

Item 1 of 3

자기베어링은 어떻게 작동하나요?

서로 접촉 하지 않고 비접촉 베어링 지원을 제공합니다 . 자기력은 로터를 일정한 정지 상태로 유지합니다. 따라서 자기 베어링은 반도체 제조 , 코팅 기술 및 연구를 위한 고진공 및 초고진공 생성과 같이 마모가 적고 깨끗하며 윤활유가 없는 조건과 고속이 요구 되는 응용 분야에 특히 적합합니다 .

자기 베어링 터보 펌프에 사용되는 전자기 베어링은 센서, 전자석, 전력 증폭기 및 컨트롤러의 복잡한 조립을 통해 전자기성을 활용하여 회전자를 정지 상태로 유지하고 회전하도록 설정합니다. 전자기 베어링은 회전자 위치가 모니터링되고 영구적으로 재조정되기 때문에 " 활성 자기 베어링 " 이라고도 합니다 . 이는 자동 불균형 보상으로 인해 마모가 없고 진동이 적은 작동을 보장합니다. 결과적으로, 전체 서비스 수명 동안 지속적인 로터 안정성은 물론 유지보수 및 윤활유가 필요 없는 작동의 이점을 누릴 수 있습니다.

자기 부상 터보 펌프의 단면도

파이퍼 베큠의 자기 부상 터보 펌프

HiPace M, ATH M 및 ATP M 제품 시리즈를 통해 가스 처리량과 작동 압력이 높은 생산 공정에 특별히 최적화된 터보분자 펌프를 제공합니다 .

HiPace M 펌프는 300 – 800 l/s의 펌핑 속도와 가벼운 가스에 대한 높은 압축비가 특징입니다 . 통합된 드라이브 전자장치 덕분에 더 이상 복잡한 배선이 필요하지 않으며 동시에 가동 시간이 단축 되는 이점도 있습니다 . 알루미늄 하우징으로 인해 진공 펌프는 특히 가볍고 어떤 방향으로도 설치할 수 있습니다. 극도로 낮은 진동을 특징으로 하는 이 제품은 진동에 민감한 모든 응용 분야에 이상적으로 적합합니다.

ATH M 시리즈의 일부 자기 베어링 터보 펌프에는 자체 통합 가열 기능도 있습니다 . 이를 통해 화학 물질 및 기타 부산물의 응축을 최소화하기 위해 일정한 고온을 유지할 수 있습니다.

소책자: ATH 2804 M 와 ATH 3204 M

다운로드download

자기 베어링과 진공 생산에서의 장점

5축 자기 베어링이 장착된 당사의 터보 펌프는 최대 압축을 제공합니다. 최소한의 진동으로 최적의 펌핑 속도와 가스 처리량을 제공합니다 . 따라서 분석, 연구, 개발 애플리케이션은 물론 코팅 및 반도체 생산 분야의 반응 공정에도 완벽한 솔루션이 됩니다.

또한 자기 베어링이 있는 터보 펌프는 다음과 같은 이점을 제공합니다.

클린 진공 애플리케이션
비접촉 자기 베어링 시스템은 윤활유나 마모 없이 작동합니다 . 이는 중요한 진공 응용 분야에서 아무런 걱정 없이 자기 베어링 터보 펌프를 사용할 수 있음을 의미합니다 .
믿을 수 있는 기술
ATH M 및 ATP M 시리즈의 활성 5축 자기 부상 베어링은 로터 위치를 모니터링하고 목표 위치와의 편차를 실시간으로 조정합니다. 이 고품질 베어링 기술은 최고의 장기 안정성 , 신뢰성 및 매우 조용한 작동을 제공합니다 . 이는 반도체 생산, 코팅, 건식 에칭 플라즈마 공정은 물론 다양한 산업 및 R&D 응용 분야에 이상적으로 적합합니다.

유지보수가 필요 없는 작동
자기 베어링 기술은 로터와 외부 케이싱 사이의 접촉을 방지합니다. 또한, 로터 자체는 정전 시 기계식 비상 베어링이 로터를 천천히 부드럽게 정지시킬 때까지 발전기 역할을 할 수 있습니다. 이는 마모를 방지하여 유지보수가 필요 없는 작동을 즐길 수 있습니다 .
안전성
고품질 비상 베어링 만 설치되어 안전한 작동을 보장합니다. IP54 안전 등급 덕분에 가장 열악한 환경 조건에서도 사용해도 문제가 없습니다. ISO 27892에 따른 제품 테스트는 당사의 모든 펌프가 최고의 안전 요구 사항을 충족함을 추가로 입증합니다 .