AMPC - 주변 다중 포트 제어
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데이터 관리 및 팹 통신
IC 팹에서 공기 중의 분자 오염(AMC)은 수율 손실의 주요 요인으로 알려져 있습니다. 파이퍼 베큠은 오염이 발생하는 곳을 제어하고 파악하기 위해 현재 반도체 시장에 EFEM(장비 프론트 엔드 모듈) 및 클린룸을 모니터링하는 독창적인 솔루션을 제공합니다.
혁신적인 통합형 밸브 설계 덕분에 AMPC는 팹의 최대 96개 위치에서 산, 염기 및 유기 화합물을 검출하고 정량화하기 위해 최신 분석기의 자료를 수집합니다.
AMPC 제공품에는 다음과 같은 2개의 도구가 포함됩니다. 외부 치수, 라인 수 및 옵션이 서로 다른 AMPC S 및 AMPC L.
이 밖에 AMPC 확장 프레임이 추가 분석기를 위한 39 U의 공간을 제공합니다. 이 프레임은 기존의 AMPC 장치를 업그레이드하거나, 기존의 장치를 새로운 AMPC S 및 AMPC L 장치에 추가할 때 사용할 수 있습니다.
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팜플렛 오염 관리 솔루션
최종 사용자는 도구 소프트웨어를 사용하여 오염 수준이 정의된 임계값을 초과할 때 다양한 경보가 울리도록 설정할 수 있습니다.
모든 측정 결과 및 도구의 매개변수가 데이터베이스에 저장되고, 거기서 팹의 통신 프로토콜로 전송되면서 고객이 실시간으로 팹의 오염 수준을 파악할 수 있습니다.
필요한 경우 고객은 원격으로 도구에 액세스하여 도구의 매개 변수를 수정할 수 있습니다.
고객 이점
화합물(산, 염기, 유기 화합물)에 대한 실시간 측정
샘플링 라인의 우선 순위, 품질 검사(QC) 및 경보 등을 관리하는 혁신적인 소프트웨어
하나의 도구(최대 8개의 분석기)로 수집되는 96개의 샘플링 라인
높은 처리량(3분 내에 분석 및 청소 가능)
샘플링 라인 간에 교차 오염 없음
반도체 시장을 위한 주변 다중 포트 제어
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