리크 감지

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반도체 도구나 해당 도구 관련 시설에서의 어떤 일회성 누출이라도 제조 처리량이나 산출량에 영향을 미칠 수 있습니다. 결과는 임계 안전 위험에 도달하지 못한 공정 사양으로 인한 생산 손실에 따라 달라집니다. 따라서 누출 탐지는 클린룸에서 또는 유지보수 개입 이후에 새 도구를 시운전하는 중요한 필수 단계입니다. 지하층에서, 전방선 및 건식 펌프는 청소나 수리를 위해 정기적으로 교환되기도 합니다. 당사는 공정 챔버에서 가스 저감까지 설치의 진공 무결성을 보장하는 포괄적인 추적 기체 누출 탐지 솔루션을 공급합니다. 목표: 생산 수율 최대화.

응용 분야 요구 사항

제조 수율을 최대화하는 높은 감도
장비 가동 중단 시간을 줄이기 위한 고성능 및 빠른 작동 시간
간편하고 지속적인 사용을 위한 견고함 및 사용자 친화성

이동식 리크 감지기 ASM 390 및 ASM 392

어떻게 작동합니까?

누출 기밀에 관한 한, 일반적인 반도체 제조 장비는 두 그룹으로 분류할 수 있습니다.

진공 상태에서 작동하는 장비: 대부분 제조 도구입니다.
완제품의 품질을 보장하기 위해 진공 시설에는 어떠한 오염원도 없어야 합니다. 따라서 진공 누출 탐지 방법을 사용하여 도구를 설치하거나 챔버를 유지보수한 후에 진공 무결성이 보장되어야 합니다. 추적 기체 누출 탐지기가 진공 상태에서 장비에 바로 연결된 경우, 모든 누출은 시설의 가능한 누출원 주위에 추적 기체를 분무하여 탐지합니다. 이를 더 쉽게 하려면 짧은 반응 시간과 탐지기 이동성이 중요합니다.

가스 관과 캐비닛처럼 압력 상태에서 작동하는 장비.
공정 기체의 해로울 수 있는 특성으로 인해 그런 관은 사용하기 전에 누출 테스트를 해야 합니다. 그런 경우, 스니핑 누출 탐지 방법이 사용됩니다. 테스트할 관에는 압력 상태에서 추적 기체가 충전됩니다. 탐지기의 스니핑 프로브는 새어나올 수 있는 추적 기체를 탐지하는 용도로 사용됩니다. 탐지기의 소형 및 다용도성은 이 응용 분야의 필수 사항입니다.

제품 포트폴리오

공정 챔버나 전방선과 같이 복잡하거나 볼륨이 큰 시스템에서 누출이 발생하는 경우, 누출 탐지 공정의 속도를 높이고 장비의 가동 중단 시간을 줄일 수 있으려면 고성능 누출 탐지기가 필요합니다. 뛰어난 성능을 갖추었고 공정 품질 및 최적화된 MTBF를 보장하는 ASM 390 및 ASM 392가 누출 기밀 문제를 해결하는 완벽한 선택입니다. 또한 이런 탐지기는 모든 반도체 시장 요구 사항을 충족하는 Semi S2 인증을 받았습니다.

과압 시스템의 경우나 테스트 영역에 액세스하기 어려운 경우, 컴팩트한 휴대용 누출 탐지기가 가장 적합한 솔루션입니다. 성능 및 감도의 손상 없이 최대 유연성을 제공하는 ASM 310은 이러한 유지보수 요구 사항에 대한 최상의 대답입니다.