SEM

전자 현미경을 위한 진공 솔루션

주사 전자 현미경(SEM)은 광범위한 응용 분야에서 사용되는 분석 방법입니다. 과학자들은 현미경으로 관찰할 수 있는 생물체나 결정 구조에 대해 더 많은 것을 알기 주사 전자 현미경을 사용합니다. SEM은 또한 산업 공정에서 구성 부품 및 완제품의 표면 구성을 검사하는 데 사용됩니다. 응용 분야는 반도체 산업, 식품 모니터링, 의료 기기, 마이크로 전자 공학부터 일반적인 생산 모니터링에 이르기까지 다양합니다.

응용 분야 요구 사항

낮은 진동 수준
높은 신뢰성
적은 전력 소비

HiScroll® the oil-free vacuum pumps

어떻게 작동합니까?

이 유형의 전자 현미경에서 전자 빔은 샘플을 래스터 패턴으로 주사합니다. 전자는 초기에 전자 원(electron source)에 의해 컬럼의 상단에서 생성됩니다. 열 에너지가 전자 원 재료의 일 함수(work function)를 초과하면 열 에너지가 방출됩니다. 방출된 열 에너지는 양전하 양극에 의해 가속되고 유인됩니다. 이때 전자 컬럼 전체가 진공 상태여야 합니다. 전자 현미경의 모든 구성품과 마찬가지로 전자 원은 진공을 유지하고 오염, 진동 또는 소음을 방지하기 위해 특수 챔버 내부에 실링되어 있습니다. 진공이 전자 원의 오염을 방지하는 한편, 사용자는 고해상도의 이미지를 획득할 수 있습니다. 진공이 아닌 경우 다른 원자나 분자가 컬럼에 존재할 수 있습니다. 이러한 이물질이 전자와 상호 작용함으로써 전자 빔이 편향되면서 이미지 품질이 저하됩니다. 게다가 고진공은 컬럼 내에 있는 감지기에 의한 전자의 수집 효율을 높여줍니다.

제품 포트폴리오

HiPace Plus 라인의 경우 필요한 진동 수준이 낮기 때문에 전자 현미경에 가장 적합한 솔루션입니다. HiPace Plus의 진동 수준은 표준 터보 펌프의 진동 수준보다 상당히 낮습니다. 파이퍼 베큠은 진동 수준을 훨씬 더 낮추기 위해 특별히 개발된 진동 차단기도 제공할 수 있습니다. 배압 펌프가 필요하기 때문에 파이퍼 베큠은 건식 멤브레인 펌프, 다단계 루츠 펌프 또는 새로 개발된 스크롤 펌프 등 다양한 건식 솔루션을 제공합니다. 당사는 또한 맞춤형 진공 솔루션을 제공하기 위해 다양한 측정기도 설치할 수 있습니다.