SEM

어떻게 작동합니까?

이 유형의 전자 현미경에서 전자 빔은 샘플을 래스터 패턴으로 주사합니다. 전자는 초기에 전자 원(electron source)에 의해 컬럼의 상단에서 생성됩니다. 열 에너지가 전자 원 재료의 일 함수(work function)를 초과하면 열 에너지가 방출됩니다. 방출된 열 에너지는 양전하 양극에 의해 가속되고 유인됩니다. 이때 전자 컬럼 전체가 진공 상태여야 합니다. 전자 현미경의 모든 구성품과 마찬가지로 전자 원은 진공을 유지하고 오염, 진동 또는 소음을 방지하기 위해 특수 챔버 내부에 실링되어 있습니다. 진공이 전자 원의 오염을 방지하는 한편, 사용자는 고해상도의 이미지를 획득할 수 있습니다. 진공이 아닌 경우 다른 원자나 분자가 컬럼에 존재할 수 있습니다. 이러한 이물질이 전자와 상호 작용함으로써 전자 빔이 편향되면서 이미지 품질이 저하됩니다. 게다가 고진공은 컬럼 내에 있는 감지기에 의한 전자의 수집 효율을 높여줍니다.