이차 이온 질량 분석법(SIMS)

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질량 분석법은 화학 물질의 정성 및 정량 분석을 위한 다양한 방법 중 하나입니다. 이차 이온 질량 분석법(SIMS)은 특별한 방법으로서 표면에 민감하게 반응하는 질량 스펙트럼을 기록하는 데 사용됩니다. 측방향 분해능은 그리드에서 시료 표면에 이온 빔을 대량 조사하여 얻게 됩니다.

어떻게 작동합니까?
에너지가 높은 이온이 시료 표면을 타격합니다. 일차 이온이라 부르는 이러한 입자가 시료 표면을 관통하여 운동 에너지를 방출한 후 충돌 캐스케이드를 만들어냅니다. 표면에 가까워진 원자는 이온화되어 시료에서 떨어져 나옵니다. 이 경우 소위 이차 이온을 검출함으로써 시료의 조성을 파악할 수 있습니다. 또한 검출 전에 분석기를 사용하여 서로 다른 질량을 분리할 수도 있습니다. 예를 들어 이는 ToF-MS(Time-of-Flight 질량 분석법)에서 비행 튜브로 사용할 수 있습니다. 또는 사중 극자 질량 분석기에서 사중 극자 필터로 사용할 수도 있습니다. 생성되는 이차 이온은 양전하 입자는 물론 음전하 입자도 될 수 있습니다. 추가 이온 소스는 필요하지 않습니다.

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작동 원리

진공 요구 사항

이차 이온은 다른 입자와의 충격을 통해 에너지를 방출하지 않거나 장치의 부품에서 구별되지 않으면서 분석기, 즉 질량 필터를 통과해야 합니다. 그 결과 압력 p <10-4 hPa에서 얻게 되는 평균 자유 경로가 필요하며, 이는 사중 극자 질량 분석기의 작동에도 필요합니다. 이러한 진공 요구 사항은 압력 모니터링 기능이 있는 적합한 펌핑 스테이션을 통해 얻게 됩니다. 총 압력 게이지는 압력이 지나치게 높을 경우 질량 분석기가 켜지지 않도록 함으로써 이를 보호합니다.

제품 포트폴리오

파이퍼 베큠은 필요한 작동 압력을 얻을 수 있도록 다양한 건식 또는 오일 윤활식 배압 펌프와 터보 펌프를 제공합니다. 종종 이들 펌프를 통합하여 종합 펌핑 스테이션을 만들기도 합니다. 이밖에 파이퍼 베큠은 시스템 및 전진공 라인에서 사용할 수 있는 압력계뿐만 아니라 다양한 진공 챔버 및 구성품도 제공합니다.

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