Ideal für Ionen-Implantationssysteme, Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase, Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen, Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen, Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 260 l/s für N2, Für externe Antriebselektronik TCP 350, Ideal für Applikationen die einen getrennten Aufbau von Pumpe und Antriebsgerät erforderlicher, Für den Einbau in allen Lagen, Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 260 l/s für N2, Für externe Antriebselektronik TCP 350, Für den Einbau in allen Lagen, Ideal für Applikationen die einen getrennten Aufbau von Pumpe und Antriebsgerät erforderlicher, Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 260 l/s für N2, Extrem hohe Kompression speziell für leichte Gase, Ideal zur Erzeugung von Ultrahochvakuum, Externe Antriebselektronik TCP 350, Für den Einbau in allen Lagen, Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
Robuste, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 260 l/s für N2, Extrem hohe Kompression speziell für leichte Gase, Ideal zur Erzeugung von Ultrahochvakuum, Integrierte Antriebselektronik TC 110, Für den Einbau in allen Lagen, Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
Machen Sie sich keine Sorgen, wir lassen Sie nicht im luftleeren Raum zurück