Magnetgelagerte Turbopumpen
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Wie funktioniert ein Magnetlager?
Magnetlager ermöglichen eine berührungslose Lagerung, ohne dass Rotor und Außenhülle miteinander in Kontakt kommen. Durch die magnetischen Kräfte befindet sich der Rotor konstant in der Schwebe. Magnetlager eignen sich daher besonders für solche Anwendungen, in denen ein geringer Verschleiß, saubere und schmiermittelfreie Bedingungen und hohe Drehzahlen gefragt sind – wie etwa bei der Hoch- und Ultrahochvakuum-Erzeugung in der Halbleiterherstellung, der Beschichtungstechnik und Forschung.
Elektromagnetische Magnetlager, mit denen die magnetgelagerten Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum ausgerüstet sind, machen sich mittels eines komplexen Aufbaus aus Sensor, Elektromagnet, Leistungsverstärker und Regler den Elektromagnetismus zunutze, um den Rotor in der Schwebe zu halten und in Rotation zu versetzen. Elektromagnetische Lager werden auch „aktive Magnetlager“ genannt, weil die Rotorposition kontrolliert und permanent nachgeregelt wird. Dies erlaubt einen verschleißfreien, vibrationsarmen Lauf durch eine automatische Unwuchtkompensation. Hierdurch profitieren Sie von einer kontinuierlichen Stabilität des Rotors sowie einem wartungs- und schmiermittelfreien Betrieb während der gesamten Lebensdauer.
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Schnittzeichnung einer magnetgelagerten Turbopumpe
Magnetgelagerte Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum
Mit den Produktserien HiPace M, ATH M und ATP M liefert Pfeiffer Vacuum Ihnen speziell für Produktionsverfahren mit hohem Gasdurchsatz und Betriebsdruck optimierte Turbomolekularpumpen.
Die Pumpen der HiPace M-Baureihe verfügen über ein Saugvermögen von 300 – 800 l/s sowie eine hohe Kompressionsrate für leichte Gase. Ihre integrierte Antriebselektronik macht aufwändige Verkabelungen unnötig, während Sie zusätzlich von einer verkürzten Hochlaufzeit profitieren. Die Vakuumpumpen können in alle Lagen eingebaut werden und sind dank ihres Aluminiumgehäuses besonders leicht. Sie zeichnen sich durch extrem geringe Vibrationen aus. Und sind damit für alle vibrationsempfindlichen Applikationen bestens geeignet.
Einige der magnetgelagerten Turbopumpen aus der ATH M-Serie besitzen zudem eine eigene integrierte Heizung. Dies macht es möglich, sie auf einer konstant hohen Temperatur zu halten und somit die Kondensation von Chemikalien und anderen Nebenprodukten zu minimieren.
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Broschüre: ATH 2804 M und ATH 3204 M
Magnetlager: Vorteile für die Vakuumproduktion
Unsere Turbopumpen mit 5-Achsen-Magnetlager liefern Ihnen ein Höchstmaß an Kompression bzw. Gasdurchsatz und Saugvermögen bei minimalen Vibrationen. Das macht sie zur perfekten Lösung sowohl für Anwendungen in Analytik, Forschung und Entwicklung als auch für reaktive Prozesse in den Bereichen Beschichtung und Halbleiterherstellung.
Darüber hinaus bieten Ihnen Turbopumpen mit Magnetlager folgende Vorteile:
Saubere Vakuumanwendungen
Die berührungsfreie Magnetlagerung funktioniert schmiermittel- und abriebfrei. Dadurch können Sie magnetgelagerte Turbopumpen bedenkenlos in kritischen Vakuumanwendungen einsetzen.
Zuverlässige Technologie
Das aktive 5-Achsen-Magnetlager der ATH M und ATP M-Serie überwacht die Position des Rotors und regelt eventuelle Abweichungen von der Soll-Position in Echtzeit aus. Durch diese hochwertige Lagertechnologie erhalten Sie eine bestmögliche Langzeitstabilität, Zuverlässigkeit und hohe Laufruhe – bestens geeignet für die Halbleiterproduktion, beschichtende und trockenätzende Plasmaverfahren sowie viele industrielle und F&E-Anwendungen.
Wartungsfreier Betrieb
Die Magnetlagerung verhindert den Kontakt zwischen Rotor und Außenhülle. Bei einem Stromausfall fungiert zudem der Rotor selbst als Generator, bis er langsam und sanft durch die mechanischen Notauflager zum Stehen kommt. Auf diese Weise werden Verschleißerscheinungen vorgebeugt und Sie genießen einen wartungsfreien Betrieb.
Sicherheit
In den wartungsfreien, magnetgelagerten Turbopumpen sind nur hochwertige Fanglager verbaut, die Ihnen einen sicheren Betrieb ermöglichen. Selbst der Einsatz unter härtesten Umgebungsbedingungen ist dank Schutzart IP54 kein Problem. Produkttests gemäß ISO 27892 belegen zusätzlich, dass alle Pumpen höchsten Sicherheitsanforderungen gerecht werden.
