Lecksuche

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Jedes einzelne Leck an einem Halbleiterwerkzeug und den zugehörigen Einrichtungen kann sich negativ auf den Durchsatz und die Ausbeute in der Herstellung auswirken. Die Folgen reichen von Produktionsausfällen aufgrund nicht erfüllter Prozessspezifikationen bis hin zu kritischen Sicherheitsrisikos. Daher ist die Lecksuche bei der Inbetriebnahme eines neuen Werkzeugs im Reinraum und nach jedem Wartungseingriff ein kritischer und zwingend erforderlicher Schritt. Im Untergeschoss werden außerdem regelmäßig Zuleitungen und Trockenpumpen zu Reinigungs- oder Reparaturzwecken ausgetauscht. Wir bieten umfassende Lösungen für die Lecksuche mit Prüfgas, die die Vakuumintegrität Ihrer Anlage von den Prozesskammern bis hin zur Gasreinigung garantieren. Unser Ziel: Die Ertragsmaximierung Ihrer Produktion.

Applikationsanforderungen

Hohe Empfindlichkeit zur Maximierung der Produktionsausbeute
Hohe Leistung und schnelle Betriebsbereitschaft für reduzierte Ausfallzeiten der Anlage
Robust und benutzerfreundlich für eine einfache und kontinuierliche Nutzung

Lecksucher ASM 390 und ASM 392 in 3D

Wie funktioniert es?

Für den Bereich der Dichtheit kann die übliche Ausrüstung einer Halbleiterproduktion in zwei Gruppen unterteilt werden:

Ausrüstung, die unter Vakuum arbeitet: Dies schließt die meisten Fertigungswerkzeuge ein.
Um die Qualität des Endprodukts zu gewährleisten, muss die Vakuumanlage frei von jeglicher Kontamination bleiben. Die Vakuumintegrität muss daher nach jeder Werkzeuginstallation oder Kammerwartung durch Anwendung einer Vakuumlecksuchmethode gewährleistet werden. Da der Prüfgas-Lecksucher direkt an die unter Vakuum stehende Anlage angeschlossen ist, wird jedes Leck durch das Versprühen von Prüfgas im Bereich möglicher Leckstellen der Anlage erkannt. Für eine einfache Durchführung sind kurze Reaktionszeiten und die Mobilität der Detektoren entscheidend.

Ausrüstung, die unter Druck steht, wie Gasleitungen und -schränke.
Aufgrund der potenziell schädlichen Eigenschaften von Prozessgasen müssen solche Leitungen vor der Inbetriebnahme leckgeprüft werden. In solchen Fällen wird die Methode der Schnüffellecksuche angewendet: Die zu prüfende Leitung wird mit Prüfgas unter Druck gefüllt. Die Schnüffelsonde des Detektors wird verwendet, um austretendes Prüfgas zu erkennen. Eine kompakte Bauform und große Vielseitigkeit des Detektors sind ein Muss für diese Anwendung.

Produktportfolio

Wenn an komplexen oder großvolumigen Systemen wie Prozesskammern oder Zuleitungen ein Leck auftritt, werden Hochleistungs-Lecksuchgeräte benötigt, um den Lecksuchprozess zu beschleunigen und damit die Ausfallzeiten der Anlage zu minimieren. Ihre herausragende Leistung macht die ASM 390 & ASM 392 zur perfekten Wahl für Ihre Herausforderungen im Bereich Dichtheit, Sicherung der Prozessqualität und die Optimierung der MTBF. Darüber hinaus sind diese Lecksucher Semi S2-zertifiziert und erfüllen alle Anforderungen des Halbleitermarkts.