SEM

Wie funktioniert es?

Bei dieser Art Elektronenmikroskop tastet der Elektronenstrahl die Probe in einem Rastermuster ab. Zunächst werden durch die Elektronenquelle am oberen Ende der Säule Elektronen erzeugt. Diese werden abgegeben, wenn ihre thermische Energie die Austrittsarbeit des Ausgangsmaterials überwindet. Sie werden dann beschleunigt und von der positiv geladenen Anode angezogen. Die gesamte Elektronensäule muss unter Vakuum stehen. Wie alle Komponenten eines Elektronenmikroskops ist die Elektronenquelle in einer speziellen Kammer eingeschlossen, um das Vakuum zu erhalten und die Quelle vor Verunreinigungen, Vibrationen oder Lärm zu schützen. Das Vakuum schützt die Elektronenquelle vor Verunreinigung und ermöglicht dem Benutzer außerdem die Aufnahme hochauflösender Bilder. Ohne Vakuum könnten sich auch andere Atome und Moleküle in der Säule befinden. Deren Wechselwirkung mit Elektronen führt zu einer Ablenkung des Elektronenstrahls und verringert die Bildqualität. Darüber hinaus erhöht das Hochvakuum die Effizienz der Detektion von Elektronen durch die Detektoren, die sich in der Säule befinden.