Mehrstufige Wälzkolbenpumpen

Energie- und kosteneffiziente trockene Pumpen

Entdecken Sie die zuverlässigen mehrstufigen Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum. Sie sind ideal für saubere und trockene Prozesse in Halbleiterfertigung, Vakuumbeschichtung und F&E. Sie bieten ein hohes Saugvermögen sowie niedrige Enddrücke.

Produkt findensearch

Die Vorteile mehrstufiger Wälzkolbenpumpen

Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen mit ihrer berührungslosen Technologie gehören zur Kategorie der trockenlaufenden Verdrängerpumpen und sind die ideale Wahl für saubere Vakuumanforderungen, da sie eine partikel- und kohlenwasserstofffreie Umgebung ermöglichen. Sie bieten ein überragendes Saugvermögen, einen außergewöhnlichen Enddruck und hervorragende Fähigkeiten zur Gasförderung. Das Fehlen von Verschleißteilen gewährleistet langfristige Stabilität und Zuverlässigkeit. Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind mit einer universellen Stromversorgung ausgestattet und entsprechen den CE-Normen, sind UL/CSA- und SEMI S2-zertifiziert und eignen sich somit für zahlreiche Anwendungen.

Die Wahl des richtigen Trockenläufers

Die Art der mehrstufigen Wälzkolbenpumpe hängt von der spezifischen Anwendung ab, für die sie bestimmt ist. Verschiedene Anwendungen erfordern unterschiedliche Pumpgeschwindigkeiten, Enddrücke und Gasförderfähigkeiten. In der Halbleiterfertigung beispielsweise, wo Schleusen- und Transferkammern von entscheidender Bedeutung sind, werden kompakte und integrierte Pumpen aufgrund ihrer schnellen Abpumpzyklen bevorzugt. Andererseits können Oberflächenanalysatoren und Lecksuchgeräte Pumpen mit speziellen Gasanschlüssen erfordern, um ihre Anforderungen zu erfüllen. Darüber hinaus sind in Teilchenbeschleunigern Pumpen mit Strahlungsbeständigkeit und anderen speziellen Eigenschaften unerlässlich. Daher ist es für die Auswahl der am besten geeigneten mehrstufigen Wälzkolbenpumpe von entscheidender Bedeutung, die besonderen Anforderungen der jeweiligen Anwendung zu kennen, um optimale Leistung und Effizienz zu gewährleisten.

Ideale Lösungen

für saubere Vakuumanwendungen

Die Pumpen der Serien ACP und A 100 L sind hochmoderne Lösungen, die speziell für saubere Prozesse entwickelt wurden, bei denen ein hohes Maß an Reinheit und Zuverlässigkeit erforderlich ist. Die ACP-Serie mit ihrer luftgekühlten Konstruktion bietet eine konstante Leistung und Vielseitigkeit, was sie zu einem idealen Ersatz für Spiral- und ölgedichtete Pumpen macht. Die A 100 L und A 200 L hingegen sind kompakte und integrierte Pumpen, die sich perfekt für häufige schnelle Abpumpvorgänge in Schleusen- und Transferkammern eignen. Beide Baureihen zeichnen sich durch einen hohen Durchsatz, niedrige Wartungskosten und die Einhaltung von Industriestandards aus, was sie zur optimalen Wahl für saubere Vakuumprozesse in verschiedenen Branchen macht.

Mehrstufigen Wälzkolbenpumpen für saubere Anwendungen

Unschlagbare Zuverlässigkeit trockene Pumpen

für anspruchsvolle chemische Prozesse

Wenn es darum geht, die anspruchsvollsten chemischen Umgebungen zu bewältigen, sind die A3- und A4-Serien von Pfeiffer Vacuum die erste Wahl. Diese mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind speziell für den Einsatz mit korrosiven und aggressiven Chemikalien konstruiert und bieten eine unvergleichliche Leistung, Effizienz und Langzeitstabilität. Mit ihrem robusten Design und den korrosionsbeständigen Materialien eignen sich diese Prozesspumpen hervorragend für Anwendungen wie Halbleiterätzung, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und andere anspruchsvolle chemische Prozesse.

Prozesspumpen für anspruchsvolle Anwendungen

Grundlegendes Verständnis des Funktionsprinzips von mehrstufigen Roots-Gebläsen

Die mehrstufigen Wälzkolbenpumpen arbeiten nach einem einzigartigen Prinzip und ermöglichen eine effiziente sowie zuverlässige Vakuumleistung. Diese Pumpen bestehen aus zwei ineinandergreifenden Rotoren mit Kolben, die sich in entgegengesetzter Richtung drehen, ohne sich zu berühren. Während sich die Rotoren drehen, bilden sie Kammern mit unterschiedlichem Volumen, in denen das Gas eingeschlossen und vom Einlass zum Auslass transportiert wird. Die mehrstufige Konfiguration erhöht den Wirkungsgrad der Pumpe, indem das Gas in mehreren Stufen komprimiert wird, was zu höheren Druckunterschieden und einer verbesserten Gesamtleistung führt. Die berührungslose Konstruktion dieser Pumpen macht Schmiermittel und Dichtungsmaterialien überflüssig und gewährleistet eine partikel- und kohlenwasserstofffreie Vakuumumgebung.

Mehrstufige Wälzkolbenpumpen von Pfeiffer Vacuum

Erleben Sie in dieser 3D-Animation das Funktionsprinzip und den Aufbau der mehrstufigen Wälzkolbenpumpe von Pfeiffer Vacuum.

Vielseitige Lösungen für unterschiedliche Anwendungen

Mehrstufige Wälzkolbenpumpen werden in den unterschiedlichsten Branchen eingesetzt und spielen eine entscheidende Rolle in verschiedenen Bereichen, z. B. in der Halbleiterherstellung, wo sie für Schleusen- und Transferkammern unerlässlich sind, sowie bei der Herstellung von Oberflächenanalysatoren, Lecksuchern und Teilchenbeschleunigern. Darüber hinaus finden mehrstufige Vakuumpumpen ihren Einsatz in Turbopumpständen, Labors, bei der Lampenherstellung, in der Gasindustrie, bei der Vakuumbeschichtung, bei der Regeneration von Kryopumpen, bei der Plasmareinigung sowie bei verschiedenen Trocknungs- und Reinigungsanwendungen. Ihre Anpassungsfähigkeit und robuste Leistung machen sie unentbehrlich bei der Gefriertrocknung, beim Lasergasrecycling und sogar beim Management hochwertiger Gase. Ob in der Forschung und Entwicklung oder in der Industrie, die Vielseitigkeit der mehrstufigen Wälzkolbenpumpen macht sie zur ersten Wahl, wenn es darum geht, eine optimale Vakuumleistung zu erzielen und die spezifischen Anforderungen der verschiedenen Bereiche und Anwendungen zu erfüllen.

Abpumpen einer breiten Palette von Chemikalien mit mehrstufigen Vakuumpumpen

Mehrstufige Wälzkolbenpumpen bieten eine außergewöhnliche Vielseitigkeit, wenn es um die Förderung verschiedener Chemikalien in unterschiedlichen Branchen geht, einschließlich korrosiver und aggressiver Substanzen. Von Säuren und Lösungsmitteln bis hin zu Gasen und Dämpfen - mehrstufige Wälzkolbengebläse können eine Vielzahl von chemischen Verbindungen mit höchster Zuverlässigkeit fördern. Die robuste Konstruktion und die Werkstoffe der A3- und A4-Pumpen gewährleisten Beständigkeit gegen chemische Angriffe und sorgen für langfristige Haltbarkeit und gleichbleibende Leistung auch in schwierigen Umgebungen.

Nachhaltige Lösungen

Mehrstufige Wälzkolbenpumpen bieten mehrere ökologische Vorteile, die sie zu einer nachhaltigen Wahl für verschiedene Branchen machen. Erstens sind diese Pumpen mit Blick auf die Energieeffizienz konzipiert, wodurch der Stromverbrauch effektiv gesenkt und der gesamte CO2-Fußabdruck während des Betriebs minimiert wird. Einige Modelle sind mit Frequenzumrichtern ausgestattet, die es den Betreibern ermöglichen, den Energieverbrauch durch Anpassung der Drehzahl an die jeweiligen Anwendungsanforderungen zu optimieren, was zu weiteren Energieeinsparungen führt. Darüber hinaus ermöglichen ihr überragendes Saugvermögen und ihre außergewöhnlichen Gasförderfähigkeiten ein effizientes Prozessmanagement, was zu weniger Materialverlusten und geringerem Energieverbrauch führt. Außerdem bieten diese Pumpen eine zuverlässige und langlebige Leistung, was zu nachhaltigen Betriebsverfahren beiträgt und die mit häufigem Pumpenaustausch verbundene Umweltbelastung verringert. All diese Merkmale machen mehrstufige Wälzkolbenpumpen zu einer umweltschonenden und verantwortungsvollen Wahl für die moderne Industrie.

Broschüren

Item 1 of 5